FTIR SECⅡ300 晶圆检测设备为 12”Si 为基底的 wafer 通过傅里叶红外光，量测外延层厚度以及表面钝化层参杂氟、磷、硼磷浓度打造。设备配备 EFEM 晶圆传送机台，LOAD PORT可实现EAP远程OHT及AGV送料，创建recipe与job，以及量测数据上传等功能。